1. ต้องไม่ใช้เครื่องอบแห้งแบบสุญญากาศที่ไม่มีห้องป้องกันการระเบิดหรือป้องกันการกัดกร่อนเพื่อทำให้สารที่ติดไฟ ระเบิดได้ หรือมีฤทธิ์กัดกร่อนแห้งได้ หากสิ่งของที่กำลังทำให้แห้งมีความชื้น ควรวางตัวกรองไว้ระหว่างห้องสุญญากาศและปั๊มสุญญากาศ เพื่อป้องกันไม่ให้ความชื้นเข้าไปในปั๊มและทำให้ทำงานผิดปกติได้ หากสิ่งของที่แห้งมีน้ำหนักเบาและมีขนาดเล็ก (อนุภาคขนาดเล็ก) ควรวางตะแกรงไว้ที่พอร์ตสุญญากาศในห้องเพื่อป้องกันไม่ให้วัสดุที่แห้งถูกดูดเข้าไปและทำให้ปั๊มสุญญากาศ (หรือโซลินอยด์วาล์ว) เสียหาย
2. เครื่องอบสุญญากาศไม่สามารถใช้งานปั๊มสุญญากาศได้เป็นเวลานาน เมื่อระดับสุญญากาศตรงตามข้อกำหนดในการทำให้สิ่งของแห้ง ให้ปิดวาล์วสุญญากาศก่อน จากนั้นจึงปิดกำลังของปั๊มสุญญากาศ เมื่อระดับสุญญากาศลดลงต่ำกว่าระดับที่ต้องการ ให้เปิดวาล์วสุญญากาศและปั๊มจ่ายไฟอีกครั้งเพื่อดูดฝุ่นต่อไป ซึ่งจะช่วยยืดอายุการใช้งานของปั๊มสุญญากาศ
3. หลังจากใช้งานซ้ำแล้วซ้ำอีก เครื่องอบแห้งแบบสุญญากาศอาจสูญเสียสุญญากาศ ในกรณีนี้ ยกเว้นการบำรุงรักษา ห้ามถอดแยกชิ้นส่วนฝาครอบด้านซ้ายของเครื่องอบสุญญากาศ เพื่อหลีกเลี่ยงไม่ให้ระบบควบคุมไฟฟ้าเสียหาย เพื่อแก้ไขปัญหานี้ ให้เปลี่ยนซีลประตูหรือปรับระยะการขยายสลักประตู เมื่ออุณหภูมิการอบแห้งในห้องสุญญากาศเกิน 200°C อาจเกิดการรั่วซึมได้ช้า ในกรณีนี้ ให้ถอดฝาครอบด้านหลังของห้องและคลายฐานเครื่องทำความร้อนด้วยประแจอัลเลน จากนั้นจึงเปลี่ยนแหวนซีลหรือขันฐานเครื่องทำความร้อนให้แน่น หากจุกยางของวาล์วระบายอากาศหมุนได้ยาก ให้ใช้จาระบีในปริมาณที่เหมาะสมเพื่อหล่อลื่น
4. เครื่องอบสุญญากาศควรรักษาความสะอาดอย่างสม่ำเสมอ ห้ามเช็ดประตูกระจกด้วยสารละลายเคมีที่ทำปฏิกิริยา ใช้ผ้าฝ้ายเนื้อนุ่ม หากไม่ได้ใช้งานเครื่องอบสุญญากาศเป็นเวลานาน ให้ทำความสะอาดชิ้นส่วนที่ชุบด้วยไฟฟ้าแล้ว ทาจาระบีที่เป็นกลางเพื่อป้องกันการกัดกร่อน ปิดด้วยแผ่นฟิล์มพลาสติกกันฝุ่น และเก็บในสภาพแวดล้อมที่แห้งภายในอาคาร เพื่อป้องกันไม่ให้อุปกรณ์ไฟฟ้าเปียกชื้นและส่งผลต่อการทำงาน
